表面洁净度测试仪 解决方案

表面洁净度测试仪

一、 仪器介绍

概述：

表面洁净度测试仪采接触式，量测物体表面的粒子数量的设备。半导体，面板厂，设备商与所有清洁部件厂商，验证部件表面是否干净的检验标准工具，人的肉眼很难看清直径在100微米以下的粒子，这些粒子会快速沉降，逃避常规的空气检测从而聚集在关键表面或产品上，从而减少产品的良率及降低产品的稳定性。

执行标准：

ISO14644-9:2022 《洁净室和相关的受控环境第 9 部分:颗粒浓度表面清洁度的评估》  

二、 仪器参数

技术参数：

控制系统：PLC

操作界面：7寸触摸屏

流量:28.3L/min+5% 内置流量传感器，流量自动闭环控制

光源: 进口激光二极管

测试粒径:0.1、0.15、0.2、0.25、0.3、0.5、0.7、1.0、3.0、5.0um（可根据客户需求定制，最多八个通道）

最大饱和浓度:2000000/ft³（5%）

自净时间:≤10min

测量次数:0-99次周期:0-99999秒测量间:0-9999秒时时间:0-9999秒

洁净度等级:1~9级

采样头规格:φ36.5

数据单位:m³、ft³

SCP等级:1级-8级

表面类型:圆形、方形

表面探头:φ12.7 mm、φ20 mm、φ30 mm、φ50 mm、φ70 mm

数据单位:m²、ft²、in²、cm²、mm²

根据探头的形状（如:圆形输入直径、方形输入长宽尺寸），自动计算出表面积。

打印功能:热敏打印机

数据储存:可储存100000组数据

重量:15kg

外形尺寸:300*400*450mm

电源：AC220V 50Hz  150W （可选带锂电池组）

基本配置

主机   一台

说明书 1份

合格证1份

签收单1份

电源线1份

扳手1套

保修卡 一个

铭牌   一个